Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2021

Идентификатор DOI: 10.31857/S0320791921010020

Ключевые слова: поверхностная акустическая волна, объемная акустическая волна, волна Лэмба, монокристаллический алмаз, нитрид алюминия, пьезоэлектрическая слоистая структура

Аннотация: Выполнено экспериментальное и теоретическое исследование распространения поверхностных акустических волн (ПАВ) – Рэлея, Сезавы и <i>SH</i>-мод, а также волн Лэмба в пьезоэлектрических слоистых структурах “Me-ВШП/AlN/(100) алмаз” (Me = Pt, Al) с конфигурацией ПАВ резонатора. Идентифицированы типы мод и получены дисперсионные кривые фазовых скоростей и коэффициентов электромеханической связи для ПАВ и волн Лэмба. Экспериментально наблюдалось возбуждение волн Лэмба до частоты 7.3 ГГц. Резонансные кривые для волн Лэмба имеют более высокую добротность <i>Q</i> по сравнению с поверхностными акустическими волнами, распространяющимися на этих же подложках. Так, на частоте около 7 ГГц нагруженная добротность достигает значения 3400, при этом параметр качества составляет величину <i>Q</i> × <i>f</i> = 2.4 × 10¹³ Гц. Отмечен необычный эффект значительного увеличения добротности волн Лэмба с ростом частоты от значения 760 при 1.5 ГГц до 3400 при 7 ГГц.

Журнал: Акустический журнал

Выпуск журнала: Т. 67, № 1

Номера страниц: 45-54

ISSN журнала: 03207919

Место издания: Москва

Издатель: Российская академия наук

• Квашнин Г.М. (ФГБНУ “Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов”)
• Сорокин Б.П. (ФГБНУ “Технологический институт сверхтвердых и новых углеродных материалов”)
• Бурков С.И. (Сибирский федеральный университет)

• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)