Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2020

Идентификатор DOI: 10.51885/15614212_2020_2_65

Ключевые слова: массоперенос, высокодозная имплантация, локальное давление, фазы внедрения

Аннотация: В работе исследованы продукты реакции, полученные при ионной имплантации азота, кислорода и фосфора в танталовую мишень. Установлено, что ионная имплантация азота в тантал приводит к возникновению фазы внедрения ТаN с ГЦК-структурой; имплантация кислорода - образованию фазы ТаО с плотноупакованной ГЦК-структурой; фосфора - образованию фосфида вольфрама Та ₃ Р с тетрагональной структурой после дополнительного отжига при температурах, превышающих 800-900 ⁰ С. Сделана оценка локального давления потока ионов на поверхность мишени, которое приводит к локальному искривлению кристаллической решетки, благодаря которому возможен быстрый массоперенос имплантированных ионов в материале мишени.

Журнал: Вестник Восточно-Казахстанского государственного технического университета им. Д. Серикбаева

Выпуск журнала: № 2

Номера страниц: 65-69

ISSN журнала: 15614212

Место издания: Усть-Каменогорск

Издатель: Восточно-Казахстанский технический университет им. Д. Серикбаева

• Абылкалыкова Р.Б. (Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова)
• Квеглис Л.И. (Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова)
• Иманжанова К.Т. (Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова)
• Нуркенова Б.Д. (Восточно-Казахстанский государственный технический университет им. Д. Серикбаева)
• Жапарова М.С. (Восточно-Казахстанский государственный университет им. С. Аманжолова)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)