Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2020
Идентификатор DOI: 10.22184/1992-4178.2020.197.6.110.112
Ключевые слова: monocrystalline silicon, Czochralski method, drive, seed, монокристаллический кремний, метод Чохральского, привод, затравка
Аннотация: Рассмотрена конструкция привода вращения и перемещения затравки для установок выращивания монокристаллов кремния методом Чохральского. Отмечено, что особенностями привода являются применение цилиндрического дифференциала в его кинематике, а также использование цепи в качестве гибкой подвески. The article considers the design of seeПоказать полностьюd rotation and movement drive for the installations for growing silicon monocrystals by Czochralski method. It is noted that the drive features are the use of cylindrical differential in the kinematics and the use of a chain as a flexible suspension.
Журнал: Электроника: Наука, технология, бизнес
Выпуск журнала: № 6
Номера страниц: 110-113
ISSN журнала: 19924178
Место издания: Москва
Издатель: АО "Рекламно-издательский центр "Техносфера"