Тип публикации: патент
Год издания: 2020
Аннотация: Программа позволяет рассчитать импеданс плазмы межэлектродной области при нанесении покрытий при помощи дугового разряда низкого давления. В программе реализованы: способ расчета с различными исходными данными; прогнозирование значений импеданса плазмы межэлектродной области, электронные плотности, температуру, электрический потенцПоказать полностьюиал, энергию осаждения частиц в виде двумерных и трехмерных графиков; учет геометрии вакуумной камеры, дугового плазмогенератора, давления в вакуумной камере, особенности технологии нанесения покрытий. Программа может быть использована организациями и специалистами в области вакуумно-плазменных технологий. Тип ЭВМ: IBM PC-совмест. ПК; ОС: Linux: Windows.