СПОСОБ ОЧИСТКИ ТРИАЛКИЛАЛЮМИНИЯ И ТРИАЛКИЛГАЛЛИЯ : авторское свидетельство

Описание

Перевод названия: PROCESS FOR PURIFYING TRIALKYLALUMINIUM AND TRIALKYL GALLIUM

Тип публикации: патент

Год издания: 1994

Аннотация:

Изобретение касается металлорганических соединений, в частности способа очистки триалкилалюминия и триалкилгаллия, используемых в качестве полупродуктов при синтезе полупроводниковых соединений. Цель - повышение степени чистоты продукта и упрощение процесса очистки. Процесс ведут ректификацией исходной смеси. Продукт ректификации в парообразном состоянии при температуре на 3 - 5С выше температуры кипения пропускают через смесь сорбентов. Последняя состоит из активированного угля БАУ, пиролитически обработанного анионита АН-221 и гидролизата триалкилгаллия (или триалкилалюминия) при их массовом соотношении (4 - 6) : (3 - 4) : 1. Способ позволяяет получать продукт содержащий, мас. % : примеси металлов 10-6-10-7; сера, селен, теллур 10-6-10-7 галоиды и кремний 10-5, а также увеличить интенсивность процесса в 3 - 4 раза. 2 табл.

FIELD: organometallic compounds. SUBSTANCE: the process is carried out by rectification of the starting mixture. The rectified product in the vapor state at a temperature by 3-5 deg C higher than the boiling point is allowed to pass through a sorbent mixture. The latter comprises activated carbon pyrolytically treated anionite AH -221 and trialkyl gallium or trialkyl aluminium hydrolysate in a 4- 6: 3-4: 1 weight ratio. The process provides a product comprising (wt % ): 10-6-10-7 metal impurities; 10-6-10-7 sulfur, selenium and tellurium; and 10-5 halides and silicon. The method also increases the process intensity by 3-4 times . EFFECT: greater purity of the product and simpler purification process. 2 tbl

Ссылки на полный текст

Персоны

  • Шарвадзе Е.В.
  • Гринберг Е.Е.
  • Смирнов А.В.
  • Красавин В.П.
  • Ефремов А.А.
  • Пантина Л.И.

Вхождение в базы данных