Тип публикации: патент
Год издания: 2019
Аннотация: Программа позволяет рассчитать распределение частиц по энергиям при синтезе нанопорошков в плазме дугового разряда низкого давления. В программе реализованы: способ расчета с различными исходными данными; прогнозирование значений функции плотности распределения энергии ионов, электронные плотности, температуру, электрический потенцПоказать полностьюиал, энергию осаждения частиц в виде двумерных и трехмерных графиков; учет геометрии вакуумной камеры, дугового плазмогенератора, давления в вакуумной камере, особенности технологии синтеза нанодисперсных частиц. Программа может быть использована организациями и специалистами в области вакуумно-плазменных технологий.