Перевод названия: METHOD OF PRODUCING QUARTZ CRUCIBLES
Тип публикации: патент
Год издания: 2019
Аннотация: p num="22"Изобретение относится к огнеупорной промышленности, а именно к производству крупногабаритных керамических кварцевых тиглей для плавления и выращивания монокристаллов германия, применяемого в полупроводниковой промышленности. Способ получения кварцевых тиглей включает получение высококонцентрированной суспензии кварцевого Показать полностьюстекла, ее стабилизацию, формование тигля литьем в пористую форму, сушку и отжиг. Согласно изобретению на внутреннюю поверхность высушенного тигля методом шликерного литья наносят слой следующего состава, мас.%: нитрид бора 25, кварцевое стекло 75. Отжиг тигля проводят в среде азота. Техническим результатом способа является получение кварцевых тиглей с однородным внутренним слоем (покрытием) при наименьшем смачивании расплавом германия внутреннего слоя тигля, что приводит к повышению качества кристаллов германия. 1 пр., 1 ил./p p num="23"FIELD: technological processes./p p num="24"SUBSTANCE: invention relates to refractory industry, in particular, to production of large-size ceramic quartz crucibles for melting and growing of germanium monocrystals used in semiconductor industry. Method of producing quartz crucibles involves obtaining a highly concentrated suspension of quartz glass, stabilizing it, molding the crucible by casting into a porous mold, drying and annealing. According to the invention, a layer of the following composition, wt%: boron nitride 25, quartz glass 75 is applied on the inner surface of the dried crucible by the method of slip casting. Crucification annealing is performed in nitrogen medium./p p num="25"EFFECT: obtaining quartz crucibles with a homogeneous inner layer (coating) with minimum germination of the crucible inner layer by the germanium melt, which increases quality of germanium crystals./p p num="26"1 cl, 1 ex, 1 dwg/p