Перевод названия: METHOD AND DEVICE TO MODIFY SURFACE OF AXISYMMETRIC ITEMS
Тип публикации: патент
Год издания: 2014
Аннотация: p num="13"Изобретение относится к технологии ионно-плазменной обработки поверхности изделий в источнике ионов с широким энергетическим спектром в скрещенных электрическом и магнитном полях, с отбором ионов с границы плазмы и ускорении их электрическим полем. Технический результат заключается в повышении энергетической эффективностиПоказать полностью. Обрабатываемое осесимметричное изделие в виде заземленного катода помещается в камеру, наполненную рабочим газом, в магнитное поле и с цилиндрическим анодом, находящимся под электрическим потенциалом в газовом разряде, с целью получения режимов очистки и травления, высоких антикоррозионных, трибологических и механических свойств осесимметричное изделие располагают соосно с осесимметричным составным анодом, с изменяемой геометрией в зависимости от формы и размеров обрабатываемой поверхности, в скрещенных осесимметричном радиально направленном электрическом и продольном магнитном полях, создают регулируемый радиально сходящийся ионный поток в интервале энергий от 0,5 до 5 кэВ и давлении рабочего газа от 10-2 до 100 Па, для этого располагают по торцам соосно изолированные электроды, находящиеся под авторегулирующимся электрическим потенциалом, формируют продольное аксиальносимметричное однородное магнитное поле и продольно перемещают обрабатываемое изделие с осевым поворотом (вращением). Устройство содержит магнитную систему и вакуумную камеру, внутри которой размещены катод и цилиндрический анод, катод расположен осесимметрично внутри анода, по торцам которого установлены соосно изолированные отражательные электроды, в качестве катода используется осесимметричное изделие, поверхность которого подвергается обработке. 2 н. и 1 з.п. ф-лы, 1 ил.img file="00000001.JPG" he="74" wi="164" img-format="jpg" img-content="drawing" //p p num="14"FIELD: electricity./p p num="15"SUBSTANCE: processed axisymmetric item in the form of a grounded cathode is placed into a chamber filled with working gas, into magnetic field and with a cylindrical anode under electric potential in gas discharge with the purpose to produce modes of treatment and etching, high anti-corrosion, tribological and mechanical properties, the axisymmetric item is arranged coaxially with the axisymmetric composite anode, with variable geometry depending on the shape and dimensions of the processed surface, in crossed axisymmetric radially directed electric and longitudinal magnetic fields, an adjustable radially reconvergent ion flow is created in the interval of energies from 0.5 to 5 keV and pressure of the working gas from 10-2 to 100 Pa. For this purpose they arrange coaxially insulated electrodes at the ends, which are under automatically adjustable electric potential, they generate a longitudinal axially symmetric homogeneous magnetic field, and the processed item is longitudinally displaced with axial turn (rotation). The device comprises a magnetic system and a vacuum chamber, inside which there is a cathode and a cylindrical anode, the cathode is arranged axisymmetrically inside the anode, at the ends of which there are coaxially insulated reflecting electrodes, the cathode is an axisymmetric item, the surface of which is exposed to processing./p p num="16"EFFECT: increased energy efficiency./p p num="17"3 cl, 1 dwg/p