Перевод названия: METHOD OF PRODUCTION OF AMORPHOUS MAGNETIC FILMS Co-P
Тип публикации: патент
Год издания: 2007
Аннотация: p num="18"Изобретение относится к химическому осаждению аморфных магнитных пленок Co-Р, например, на полированное стекло и может быть использовано в вычислительной технике в головках записи и считывания информации, в датчиках магнитных полей, в управляемых сверхвысокочастотных (СВЧ) устройствах: фильтрах, амплитудных и фазовых модуПоказать полностьюляторах и т.д. Способ включает очистку стеклянной подложки, двойную сенсибилизацию в растворе хлористого олова с промежуточной обработкой в растворе перекиси водорода и активацию в растворе на основе хлористого палладия с последующей термообработкой при температуре 150-450°С в течение 30-40 минут и осаждение магнитной аморфной пленки Co-Р. Для повышения качества аморфных магнитных пленок осаждение пленки Co-Р осуществляют на дополнительный немагнитный аморфный слой Ni-P толщиной 20-30 нм при наложении в плоскости подложки однородного постоянного магнитного поля. 1 табл./p p num="19"FIELD: chemical deposition of amorphous magnetic films Co-P on polished glass, for example; computer engineering; recording and playback heads; magnetic field sensors; controllable SHF units: filters, amplitude and phase modulators./p p num="20"SUBSTANCE: proposed method includes cleaning of glass substrate, double sensitization in tin chloride solution at intermediate treatment in hydrogen peroxide solution on base of palladium chloride followed by heat treatment at temperature of 150-450C for 30-40 minutes and deposition of magnetic amorphous film Co-P. To improve quality of amorphous magnetic films, deposition is performed on additional non-magnetic Ni-P layer, 20-30 nm thick at application of homogeneous permanent magnetic field in substrate plane./p p num="21"EFFECT: enhanced efficiency./p p num="22"1 tbl, 1 ex/p