Перевод названия: Современные технологии микро- и наноэлектроники
Тип публикации: учебное пособие
Год издания: 2010
Ключевые слова: радиоэлектроника, радиотехника, радиоэлектронная аппаратура, микроэлектроника, Наноэлектронные схемы и приборы, технология производства, учебник для высшей школы
Ссылки на полный текст