Перевод названия: The accuracy analysis of the contact method of the cristals area grown by the Chokhralski method
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2019
Ключевые слова: growing, crystals, contact measurement method, выращивание, кристаллы, Контактный метод измерения
Аннотация: На основе контактного метода измерения рассмотрены основные требования для обеспечения точности измерения площади кристалла, выращиваемого из жидкого расплава по способу Чохраль-ского, на цилиндрической части. В системе управления по координатам перемещения кристалла и тигля обосновано применение фотосчитывающих оптических линеек сПоказать полностьюдискретностью отсчёта 0,1 мкм. Предложен алгоритм работы установки выращивания кристаллов на основе управления условиями замыкания датчика уровня расплава в тигле, что обеспечивает точность измерения текущей площади кристалла величиной ниже 1 %. The basic requirements ensuring the measurement accuracy of a crystal area grown on a cylindrical part from a liquid melt by the Chokhralski method are considered on the grounds of the contact measurement method. In the control system according to the coordinates of moving the crystal and crucible, the application of photo-reading optical lines with a sampling resolution of 0.1 rm in the control system according to the coordinates of moving the crystal and crucible is justified. A work algorithm for the growing crystals installation from a control the sensor closure conditions of the melt level in the crucible, which ensures the accuracy of measuring the current crystal area below 1%, is proposed.
Журнал: Автоматизация. Современные технологии
Выпуск журнала: Т. 73, № 2
Номера страниц: 62-68
ISSN журнала: 08694931
Место издания: Москва
Издатель: Общество с ограниченной ответственностью "Издательство "Инновационное машиностроение"