Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: СОВРЕМЕННЫЕ ПРОБЛЕМЫ РАДИОЭЛЕКТРОНИКИ; Красноярск; Красноярск
Год издания: 2012
Аннотация: Описывается технология получения сквозной трехслойной пористой структуры на пластинах монокристаллического кремния толщиной 500 мкм без удаления монокристаллических слоев. Показывается возможность технологической реализации изготовления на ее основе каркаса монолитного мембрано-электродного блока микротопливных элементов.
Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники
Номера страниц: 401-404
Издатель: Сибирский федеральный университет