Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: International Vacuum Microlectronics Conference

Год издания: 2001

Ключевые слова: engineering, electrical, electronic, Nanoscience, Nanotechnology

Журнал: Journal of vacuum science & technology b

Выпуск журнала: Т. 19, вып. 3

Номера страниц: 965-970

ISSN журнала: 10711023

• Karabutov A.V.
• Frolov V.D.
• Konov V.I.
• Ralchenko V.G.
• Gordeev S.K.
• Belobrov P.I. (KRASNOYARSK STATE UNIV)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)