Перевод названия: SIMULATING THE CROSS SECTION OF INELASTIC SCATTERING OF ELECTRONS IN LAYERED STRUCTURES ON THE BASIS OF DIELECTRIC FUNCTIONS AND EXPERIMENTAL SPECTRA OF THE FILM AND SUBSTRATE
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2015
Ключевые слова: electron spectroscopy, cross section of inelastic scattering of reflected electrons, mean free path of an electron, электронная спектроскопия, сечение неупругого рассеяния отражённых электронов, длина свободного пробега электрона
Аннотация: Представлена методика моделирования сечения неупругого рассеяния электронов в слоистых структурах из экспериментальных спектров сечения неупругого рассеяния отражённых электронов компонентов структур на основе теоретической модели Юберо - Тоугаарда сечения неупругого рассеяния в однородной среде и её обобщения на случай слоистых стПоказать полностьюруктур. Методика апробирована на примере исследования спектров сечения неупругого рассеяния в двухслойной структуре SiO 2/Si. This paper describes a technique of simulating the cross section of inelastic scattering of electrons in layered structures from the experimental spectra of the cross section of inelastic scattering of reflected electrons of structural components on the basis of the theoretical Yubero - Tougaard model of the cross section of inelastic scattering in a homogeneous medium and its generalization for the case of layered structures. This technique is tested by an example of studying the spectra of the cross section of inelastic scattering in a two-layer SiO 2/Si structure.
Журнал: Автометрия
Выпуск журнала: Т. 51, № 4
Номера страниц: 114-120
ISSN журнала: 03207102
Место издания: Новосибирск
Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Издательство Сибирского отделения Российской академии наук