Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2017
Ключевые слова: фронт кристаллизации, гидродинамика расплава, метод Чохральского, дислокации
Аннотация: Приведены результаты расчета формы фронта кристаллизации при варьировании скорости вращения тигля и кристалла в процессе выращивании монокристаллов германия диаметром 100 мм методом Чохральского. Показано, что при отклонении формы фронта кристаллизации от прямолинейной не более чем на 0,5-1,0 мм можно получить кристаллы с плотностью дислокаций менее 250 см-2. Доказано наличие корреляции между формой фронта кристаллизации и плотностью дислокаций.
Журнал: Успехи современной науки
Выпуск журнала: Т. 6, № 3
Номера страниц: 124-128
ISSN журнала: 24126608
Место издания: Белгород
Издатель: Клюев Сергей Васильевич