Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: Вакуумная техника и технология; Казань; Казань

Год издания: 2017

Ключевые слова: ионно-лучевое легирование, механическая прочность, эксплуатационные характеристики, вакуумные схемы - имплантация ионов

Аннотация: Предложена модернизация приемной камеры установки ионного легирования "Везувий-5" для контролируемого ведения технологического процесса ионной имплантации полупроводников и металлических элементов микроэлектронных устройств, ответственных деталей узлов для медицинской авиационной техники и приборостроения изделий имплантологии.?

Журнал: Вакуумная техника и технология

Номера страниц: 153-154

Издатель: Казанский национальный исследовательский технологический университет

• Перинская Е.Д. (Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю.А.)
• Перинская И.В. (Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю.А.)
• Перинский В.В. (Саратовский государственный технический университет им. Гагарина Ю.А.)
• Михаилова С.В.

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)