Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2016
Аннотация: Проведены исследования по влиянию состава рабочего газа и температуры осаждения пленок а-С:Н на их структуру, оптические и электрические свойства. Структура пленок контролировалась методом рамановской спектроскопии. Оптимизация технологических параметров проводилась по доле sp3 гибридизированных связей в структуре пленок и скорости их осаждения. Установлено, что при составе рабочего газа 96% аргона и 4% метана и температуре осаждения пленок - 50 °С доля sp3 гибридизированных связей составляет 40% при скорости осаждения - 2.5 нм/мин. При этом пленки характеризуются высоким коэффициентом пропускания в видимой области спектра и элекропроводностью 5 10-9 Ом
Журнал: Многоядерные процессоры, параллельное программирование, ПЛИС, системы обработки сигналов
Выпуск журнала: Т. 1, № 6
Номера страниц: 219-226
ISSN журнала: 23136111
Место издания: Барнаул
Издатель: Алтайский государственный университет