Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2016

Аннотация: Проведены исследования по влиянию состава рабочего газа и температуры осаждения пленок а-С:Н на их структуру, оптические и электрические свойства. Структура пленок контролировалась методом рамановской спектроскопии. Оптимизация технологических параметров проводилась по доле sp³ гибридизированных связей в структуре пленок и скорости их осаждения. Установлено, что при составе рабочего газа 96% аргона и 4% метана и температуре осаждения пленок - 50 °С доля sp³ гибридизированных связей составляет 40% при скорости осаждения - 2.5 нм/мин. При этом пленки характеризуются высоким коэффициентом пропускания в видимой области спектра и элекропроводностью 5 10^-9 Ом

Журнал: Многоядерные процессоры, параллельное программирование, ПЛИС, системы обработки сигналов

Выпуск журнала: Т. 1, № 6

Номера страниц: 219-226

ISSN журнала: 23136111

Место издания: Барнаул

Издатель: Алтайский государственный университет

• Приходько О.Ю. (Научно-исследовательский институт экспериментальной и теоретической физики при Казахском национальном университете им. аль-Фараби)
• Михайлова С.В. (Научно-исследовательский институт экспериментальной и теоретической физики при Казахском национальном университете им. аль-Фараби)
• Манабаев Н.К. (Научно-исследовательский институт экспериментальной и теоретической физики при Казахском национальном университете им. аль-Фараби)
• Мухаметкаримов Е.С. (Научно-исследовательский институт экспериментальной и теоретической физики при Казахском национальном университете им. аль-Фараби)
• Максимова С.Я. (Научно-исследовательский институт экспериментальной и теоретической физики при Казахском национальном университете им. аль-Фараби)
• Даутхан К. (Научно-исследовательский институт экспериментальной и теоретической физики при Казахском национальном университете им. аль-Фараби)

• РИНЦ (eLIBRARY.RU)