Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2010
Аннотация: Предложен алгоритм формирования задания скорости вытягивания на установке выращивания монокристаллов кремния, по способу Чохральского, который позволяет автоматизировать процесс ввода программного задания скорости в микропроцессорную систему управления.
Журнал: Актуальные проблемы авиации и космонавтики
Выпуск журнала: Т. 1, № 6
Номера страниц: 167-168
Место издания: Красноярск
Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева