Перевод названия: Monitoring of Heater Temperature on Germanium Monocrystal Growing System
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2008
Аннотация: Предложена математическая модель формирования задания температуры на установке выращивания монокристаллов германия по способу Чохральского, которая позволяет автоматизировать процесс его ввода в микропроцессорную систему управления установкой.
Журнал: Мехатроника, автоматизация, управление
Выпуск журнала: № 1
Номера страниц: 42-46
ISSN журнала: 16846427
Место издания: Москва
Издатель: Общество с ограниченной ответственностью Издательство Новые технологии