Перевод названия: Sensorics. Modern technologies of micro and nano-electronics
Год издания: 2014
Ключевые слова: Chemical and electrochemical gas sensors, Microelectronic sensors, technology, nanosized sensors, multisensory systems, micro engineering, химические, электрохимические газовые сенсоры, микроэлектронные датчики, мультисенсорные системы, микроконструирование, технологии, наноразмерные сенсоры
Аннотация: В учебном пособии раскрывается технологический аспект сенсорики и приводятся сведения о большом многообразии сенсоров. Отмечается важность нанотехнологического подхода к изготовлению сенсоров. Представлена информация о материалах химических сенсоров, их свойствах и принципах конструирования. Особо выделен технологический акцент полПоказать полностьюучения сложнооксидных сенсоров, которые работают на различных принципах. Приведены примеры приборов, выпускаемых в настоящее время в промышленном масштабе. Описаны некоторые технологии изготовления эффективных наноразмерных сенсорных материалов, в том числе авторский метод приготовления оксидных (резистивных, пьезоэлектрических, магнитных) сенсорных материалов. Приведены данные, полученные автором по технологии изготовления сенсорных материалов. Предназначено для студентов и аспирантов, изучающих курс «Современные технологии микро- и наноэлектроники», а также инженеров, специалистов и ученых, работающих в области технологии сенсоров. The training manual reveals the technological aspect of sensory and Examples are found information on a large variety of sensors. Notes the importance of nano-Technological approach to sensor fabrication. The information Materials chemical sensors, their properties and principles of design. Highlight the technological focus of obtaining complex sensors that operate on different principles. Are examples of devices, you are a Issued currently commercially. Describes some effective manufacturing techniques nanoscale sensor materials, including the author´s method of preparation of oxide (resistive, piezoelectric tric and magnetic) sensor materials. The data obtained author on the technology of sensor materials. It is intended for undergraduate and graduate students studying the course "Modern micro- and nano-electronics technology, "as well as engineers, technicians and scientists working in the field of sensor technology.
Номера страниц: 260
Место издания: Москва
Издатель: Общество с ограниченной ответственностью «Научно-издательский центр ИНФРА-М»