Применение MEMS-технологий в IGZO-дисплеях : научное издание

Описание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2014

Аннотация: На данный момент самым впечатляющим типом микроструктур, которые создаются людьми, являются MEMS – микроэлектронные и микромеханические системы. Если конкретнее давать определение, то MEMS – это механические структуры, созданные в ограниченном объеме твердого тела или на его поверхности в виде сложных микросистем субмиллиметрового Показать полностьюразмера.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Интеллектуальный потенциал XXI века: ступени познания

Выпуск журнала: 20

Номера страниц: 100-103

Место издания: Новосибирск

Издатель: Общество с ограниченной ответственностью Центр развития научного сотрудничества

Персоны

  • Полякова О.С. (Институт космических и информационных технологий Сибирского федерального университета, г. Красноярск)
  • Подлесный А.О. (Институт космических и информационных технологий Сибирского федерального университета, г. Красноярск)

Вхождение в базы данных