Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2014
Аннотация: На данный момент самым впечатляющим типом микроструктур, которые создаются людьми, являются MEMS – микроэлектронные и микромеханические системы. Если конкретнее давать определение, то MEMS – это механические структуры, созданные в ограниченном объеме твердого тела или на его поверхности в виде сложных микросистем субмиллиметрового Показать полностьюразмера.
Журнал: Интеллектуальный потенциал XXI века: ступени познания
Выпуск журнала: № 20
Номера страниц: 100-103
Место издания: Новосибирск
Издатель: Общество с ограниченной ответственностью Центр развития научного сотрудничества