Перевод названия: Microsystems Technologys of Tendency Development
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2006
Аннотация: Рассматривается развитие микросистемной техники, связанное с проведением прикладных исследований по созданию компонентной базы МСТ и изделий на ее основе. Microsystems technologys of direction development for application of microelectromechanical systems.
Журнал: Нано- и микросистемная техника
Выпуск журнала: № 1
Номера страниц: 2-12
ISSN журнала: 18138586
Место издания: Москва
Издатель: Общество с ограниченной ответственностью Издательство Новые технологии