Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2014
Аннотация: Карбид кремния --- один из самых распространенных материалов полупроводниковой техники. Тонкие пленки карбида кремния привлекательны с точки зрения создания приборов на основе гетеропереходов. Это связано с такой характерной особенностью данного соединения, как политипизм, приводящий к различию по физическим свойствам, а также ослоПоказать полностьюжняющий получение образцов материала высокого качества. В настоящей работе проводилось исследование термодинамической стабильности и электронной структуры ряда тонких пленок порядка нескольких нанометров на основе политипов 3C, 2H и 2D.
Журнал: Физика твердого тела
Выпуск журнала: Т. 56, № 8
Номера страниц: 1603-1607
ISSN журнала: 03673294
Место издания: Санкт-Петербург
Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие "Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Российской академии наук "Издательство "Наука"