Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2012
Ключевые слова: микрополосковый датчик, кремний, бесконтактный СВЧ-метод
Аннотация: Разработан микрополосковый СВЧ-датчик, предназначенный для измерения параметров полупроводников бесконтактным СВЧ-методом. Проведено сравнение результатов измерений времени жизни неосновных носителей заряда в монокристаллическом и мультикристаллическом кремнии с применением данного датчика и ранее известной конструкции микрополоскоПоказать полностьювого датчика. Показано преимущество разработанного датчика при измерении времени жизни неосновных носителей заряда в образцах кремния с низким удельным сопротивлением.
Журнал: Известия высших учебных заведений. Физика
Выпуск журнала: Т. 55, № 8-3
Номера страниц: 17-20
ISSN журнала: 00213411
Место издания: Томск
Издатель: Национальный исследовательский Томский государственный университет