Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2011
Аннотация: Кратко описан оригинальный управляемый СВЧ-модуль для бесконтактного измерения параметров полупроводников. Модуль позволяет в автоматическом режиме контролировать изменение частоты, амплитуды, добротности и формы резонансной кривой СВЧ-резонатора при нагружении его на измеряемый полупроводник. Приведены результаты применения СВЧ-моПоказать полностьюдуля для измерений времени жизни неравновесных носителей заряда в пластинах монокристаллического и мультикристаллического кремния.
Журнал: Микроэлектроника
Выпуск журнала: Т. 40, № 4
Номера страниц: 313-318
ISSN журнала: 05441269
Место издания: Москва
Издатель: Российская академия наук, Физико-технологический институт им. К.А. Валиева РАН