Тип публикации: диссертация
Год издания: 2008
Ключевые слова: Приборы и методы экспериментальной физики
Аннотация: Разработана установка для измерения эффекта Керра in situ на базе лазерного эллипсометра ЛЭФ-757. Впервые создан автоматизированный комплекс, позволяющий in situ непосредственно во время получения наноструктур внутри высоковакуумной камеры измерять одновременно эллипсометрические параметры и магнитооптический эффект Керра. Методом Показать полностьюэллипсометрии исследованы наноструктуры Fe/Si. Разработана методика, позволяющая во время напыления определять оптические параметры и толщины пленок. Обнаружен островковый рост структур, определены геометрические характеристики островков. Разработаны алгоритмы, позволяющие решить в реальном времени обратную задачу эллипсометрии для систем Fe/Si. Полученный программный комплекс дает возможность in situ контролировать толщину и скорость роста и формировать управляющие команды для созданного блока управления испарителями. Реализована обратная связь эллипсометр - высоковакуумная установка, позволяющая получать структуры с заданными свойствами.