Тип публикации: диссертация
Год издания: 2008
Ключевые слова: Приборы и методы экспериментальной физики
Аннотация: Цель исследования: разработка методик количественного анализа в спектроскопии потерь энергии отраженных электронов. Предложены новые методы количественного анализа в спектроскопии потерь энергии отраженных электронов: метод, связанный с разложением спектров на отдельные пики гауссовой формы; метод, основанный на определении из экспПоказать полностьюериментальных спектров произведения средней длины неупругого свободного пробега на поперечное сечение неупругого рассеяния электронов в твердом теле. На основании результатов аппроксимации спектров потерь кремния с различным содержанием примеси углерода на поверхности пиками гауссовой формы показана возможность количественного анализа по спектрам потерь посредством введения для них коэффициентов элементной чувствительности, используя в качестве интенсивностей сигнала площади пиков соответствующих плазмонов. Показана более высокая чувствительность данной методики к содержанию атомов углерода на поверхности по сравнению с электронной оже-спектроскопией. Показано, что для железо-кремниевой системы определяемая из экспериментальных спектров потерь энергии отраженных электронов величина произведения средней длины неупругого пробега на сечение неупругого рассеяния электронов может служить количественной мерой определения элементного состава композитной среды.