Тип публикации: диссертация
Год издания: 2005
Ключевые слова: микроэлектроника, Пленочные схемы и приборы, технология получения, методы исследований, физика конденсированного состояния
Аннотация: Показано, что в Ni/Ti, Au/Cd, Al/Ni, Cd/Ag, Au/Mn, Ni/Mn< Fe/Mn двухслойных тонких пленках твердофазная реакция инициируется при температуре, близкой к температуре старта обратного мартенситного перехода, и в продуктах реакции образуются аустенитная и мартенситные фазы. Сформулировано правило образования первой фазы на границе раздПоказать полностьюела двух пленочных конденсатов для твердофазных реакций. Согласно этому правилу, первой образуется фаза, которая по диаграмме фазового равновесия имеет наименьшую температуру структурного фазового перехода. Если таким фазовым переходом является мартенситное превращение, то инициирование реакции происходит при температуре обратного мартенситного перехода и продукты синтеза содержат аустенитную и мартенситные фазы. Создана автоматизированная установка для определения основных характеристик твердофазного синтеза. Установка позволяет снять зависимости изменения сопротивления и температуры пленки от температуры нагрева образца и оценит временные параметры реакции (скорость нагрева образца, скорость изменения температуры и сопротивления пленки).