Полный текст публикации: Формирование сквозных структур с различной пористостью на толстых пластинах монокристаллического кремния

Полный текст не загружен, но возможно он доступен по одной из следующих ссылок:

  1. DOI 10.17073/1609-3577-2014-1-8-12 (переход на страницу публикации на сайте издателя)
  2. РИНЦ (eLIBRARY.RU) (справа ссылка «Загрузить полный текст»)
  3. Поиск в Академии Google

Вернуться на страницу публикации