Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2004
Аннотация: Описана автоматизация комплекса технологического оборудования для получения тонких пленок и многослойных структур полупроводниковых и магнитных материалов в сверхвысоком вакууме. Разработаны программно-аппаратные блоки на базе п.э.в.м. для контроля сверхвысоковакуумной системы и автоматического управления испарителями. Комплекс оснПоказать полностьюащен аналитическим оборудованием для контроля in situ параметров получаемых структур методами дифракции отраженных быстрых электронов, лазерной эллипсометрии и электронной оже-спектроскопии.
Журнал: Приборы и техника эксперимента
Выпуск журнала: № 6
Номера страниц: 125-129
ISSN журнала: 00328162
Место издания: Москва
Издатель: Федеральное государственное унитарное предприятие Академический научно-издательский, производственно-полиграфический и книгораспространительский центр Наука