DEFECT ANNEALING IN POLYCRYSTALLINE SILICON FILMS

Описание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 1978

Идентификатор DOI: 10.1016/0040-6090(78)90175-X

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: THIN SOLID FILMS

Выпуск журнала: Vol. 52, Is. 3

Номера страниц: 329-332

ISSN журнала: 00406090

Место издания: LAUSANNE

Издатель: ELSEVIER SCIENCE SA LAUSANNE

Персоны

  • DVURECHENSKY A.V. (KRASNOYARSK STATE UNIV)
  • GERASIMENKO N.N. (KRASNOYARSK STATE UNIV)
  • POTAPOVA L.P. (KRASNOYARSK STATE UNIV)