Перевод названия: ОСОБЕННОСТИ ПРИГОТОВЛЕНИЯ CROSS-SECTION ОБРАЗЦОВ С ИСПОЛЬЗОВАНИЕМ СИСТЕМЫ ФОКУСИРУЕМОГО ИОННОГО ПУЧКА
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2015
Ключевые слова: focused ion beam system, transmission electron microscopy, система фокусируемого ионного пучка, просвечивающая электронная микроскопия
Аннотация: The research reviews basic stages of cross-section sample preparation for investigation by transmission of electron microscopy using focused ion beam system Hitachi FB-2100. Also some features of sample preparation with small thickness ( less than 300 nm ) of the investigated layers are described. Рассмотрены основные этапы пробопоПоказать полностьюдготовки образцов поперечных срезов для исследования методами просвечивающей электронной микроскопии с использованием системы фокусируемого ионного пучка HitachiFB-2100. Также описаны некоторые особенности подготовки образцов с малыми толщинами исследуемых слоев (менее 300 нм).
Журнал: Молодежь. Общество. Современная наука, техника и инновации
Выпуск журнала: № 14
Номера страниц: 287-288
Место издания: Красноярск
Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева