Automation of technological equipment for obtaining multilayer structures in an ultrahigh vacuum

Описание

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2004

Идентификатор DOI: 10.1023/B:INET.0000049709.08368.3e

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Instruments and Experimental Techniques

Выпуск журнала: Т.47, 6

Номера страниц: 839-843

ISSN журнала: 00204412

Место издания: Москва

Издатель: Pleiades Publishing, Ltd. (Плеадес Паблишинг, Лтд)

Авторы

  • Varnakov S.N. (Kirenskii Institute of Physics,Siberian Division,Russ. Acad. Sci., Akademgorodok, K.)
  • Ovchinnikov S.G. (Kirenskii Institute of Physics,Siberian Division,Russ. Acad. Sci., Akademgorodok, K.)
  • Korshunov M.M. (Kirenskii Institute of Physics,Siberian Division,Russ. Acad. Sci., Akademgorodok, K.)
  • Lepeshev A.A. (Reshetnev Siberian State Aerosp. U.,Pr. Im. Gazety Krasnoyarskii R.,Krasnoyarsk, 660014 Russia)
  • Parshin A.S. (Reshetnev Siberian State Aerosp. U.,Pr. Im. Gazety Krasnoyarskii R.,Krasnoyarsk, 660014 Russia)
  • Nevoral P. (Czech Technical University,Ul. Zikova 4,Prague 6, 16636 Czech Republic)

Вхождение в базы данных