Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: International Symposium on Nanostructures - Physics and Technology; Saint Petersburg, RUSSIA; Saint Petersburg, RUSSIA

Год издания: 2018

Идентификатор DOI: 10.1134/S1063782618050202

Аннотация: For modern microelectronics, at the present time, the technologies of consciousness smart structures play an important role, which can provide accuracy, stability and high quality of the structures. Submicron lithography methods are quite expensive and ha

Журнал: SEMICONDUCTORS

Выпуск журнала: Vol. 52, Is. 5

Номера страниц: 636-638

ISSN журнала: 10637826

Место издания: NEW YORK

Издатель: MAIK NAUKA/INTERPERIODICA/SPRINGER

• Lukyanenko A.V. (Russian Acad Sci, Kirensky Inst Phys, Krasnoyarsk 660036, Russia; Siberian Fed Univ, Krasnoyarsk 660041, Russia)
• Smolyarova T.E. (Russian Acad Sci, Kirensky Inst Phys, Krasnoyarsk 660036, Russia; Siberian Fed Univ, Krasnoyarsk 660041, Russia)

• Web of Science Core Collection
• Scopus
• РИНЦ (eLIBRARY.RU)