Анализ механизмов образования пористого кремния при формировании толстых слоев

Описание

Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций

Конференция: Современные проблемы радиоэлектроники; Красноярск; Красноярск

Год издания: 2013

Аннотация: Приводятся современные представления о зарождении пор и их прорастании вглубь монокристаллической подложки при формировании пористого кремния. Делается попытка применить эти представления для случая получения толстых слоев пористого кремния на подложках с механическими дефектами.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Современные проблемы радиоэлектроники

Номера страниц: 338-343

Издатель: Сибирский федеральный университет

Авторы

  • Меркушев Ф.Ф. (Сибирский федеральный университет)
  • Кожурина М.Г. (Сибирский федеральный университет)
  • Крум А.Е. (Сибирский федеральный университет)
  • Юзова В.А. (Сибирский федеральный университет)

Вхождение в базы данных