Перевод названия: WIRE TOOL - ELECTRODE TO OBTAIN CRYSTALS
Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2015
Ключевые слова: проволочный электрод-инструмент, колебания проволоки, скрайбирование полупроводниковых пластин, the wire electrode-tool, the vibrations of the wire, scribing semiconductor wafers
Аннотация: В системах управления ракет и космических аппаратов применяют интегральные микросхемы и приборы, в основе которых используются кристаллы, полученные разделением полупроводниковых пластин. Предложен способ разделения на кристаллы проволочным электрод-инструментом. Правильность выбранной модели подтверждается экспериментальными данныПоказать полностьюми. The control systems of missiles and space vehicles use integrated circuits and devices with crystals obtained by separating the semiconductor wafers. The research presents a method of separation of crystals wire electrode-tool. The correctness of the chosen model is confirmed by experimental data.
Журнал: Решетневские чтения
Выпуск журнала: Т. 1, № 19
Номера страниц: 43-46
ISSN журнала: 19907702
Место издания: Красноярск
Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева