Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2017

Идентификатор DOI: 10.1016/j.molstruc.2017.06.059

Ключевые слова: Iridium films, MOCVD, Ir(acac)(CO)(2), Thermal decomposition, Mass spectrometry, Quantum chemical modeling

Аннотация: The mechanism of thermal destruction of Ir(acac)(CO)(2) as one of the most important MOCVD precursors for Ir coatings deposition was proposed on the footing of the in situ mass spectrometry analysis and quantum chemical modeling. Calculated structural par

Журнал: JOURNAL OF MOLECULAR STRUCTURE

Выпуск журнала: Vol. 1146

Номера страниц: 677-683

ISSN журнала: 00222860

Место издания: AMSTERDAM

Издатель: ELSEVIER SCIENCE BV

• Kovaleva Evgenia A. (Siberian Fed Univ, 79 Svobodny Pr, Krasnoyarsk 660041, Russia; SB RAS, Nikolaev Inst Inorgan Chem, 3 Acad Lavrentieva Pr, Novosibirsk 630090, Russia)
• Kuzubov Alexander A. (Siberian Fed Univ, 79 Svobodny Pr, Krasnoyarsk 660041, Russia)
• Vikulova Evgeniia S. (SB RAS, Nikolaev Inst Inorgan Chem, 3 Acad Lavrentieva Pr, Novosibirsk 630090, Russia)
• Basova Tamara V. (SB RAS, Nikolaev Inst Inorgan Chem, 3 Acad Lavrentieva Pr, Novosibirsk 630090, Russia; Novosibirsk State Univ, 2 Pirogova Str, Novosibirsk 630090, Russia)
• Morozova Natalya B. (SB RAS, Nikolaev Inst Inorgan Chem, 3 Acad Lavrentieva Pr, Novosibirsk 630090, Russia)

• Web of Science Core Collection
• Scopus
• Ядро РИНЦ (eLIBRARY.RU)