ИЗУЧЕНИЕ МЕХАНИЗМОВ ФОРМИРОВАНИЯ СТРУКТУР ЖЕЛЕЗА НА ПОВЕРХНОСТИ КРЕМНИЯ ПРИ РАЗЛИЧНЫХ ТЕХНОЛОГИЧЕСКИХ УСЛОВИЯХ МЕТОДОМ АТОМНО-СИЛОВОЙ МИКРОСКОПИИ : научное издание

Описание

Перевод названия: A STUDY ON THE IRON STRUCTURE FORMATION ON SILICON SURFACES FOR DIFFERENT TECHNOLOGICAL CONDITIONS BY MEANS OF ATOMIC FORCE MICROSCOPY

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2009

Ключевые слова: iron-silicon structures, atomic force microscopy, железо-кремниевые структуры, атомно-силовая микроскопия

Аннотация: Представлены результаты исследования топологии поверхности железо-кремниевых структур, полученных при разных температурных условиях, методом атомно-силовой микроскопии.

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Вестник Сибирского государственного аэрокосмического университета им. академика М.Ф. Решетнева

Выпуск журнала: 4

Номера страниц: 125-129

ISSN журнала: 18169724

Место издания: Красноярск

Издатель: Сибирский государственный аэрокосмический университет имени академика М.Ф. Решетнева

Авторы

Вхождение в базы данных