Особенности определения формы фронта кристаллизации при выращивании монокристаллов германия : научное издание

Описание

Перевод названия: Perculiarities of Determination of Solidifying Interface Form at Germanium Monocrystal Growing

Тип публикации: статья из журнала

Год издания: 2008

Ключевые слова: форма фронта кристаллизации, прогиб фронта кристаллизации, замедление скорости вращения кристалла, crystal-melt front shape, crystal front inflection, crystal rotation rate inhibition

Аннотация: Рассмотрен метод управления скоростью вращения кристалла при контактном методе выращивания монокристаллов, который позволяет проявить стандартным способом травления форму фронта кристаллизации. Данный метод применяется для коррекции прогиба фронта кристаллизации, при серийном выращивании монокристаллов германия кристаллографическогПоказать полностьюо направления "100". Mode of monitoring of crystal rotation speed in the contact method of monocrystal growing by Czochralski method was examined which allows to display solidifying interface form by standard etching mode. This mode is used to correct solidifying interface sagging at batch growing of germanium monocrystals in 100 orientation due to change crystal rotation speed rate input in computer control program at a given area

Ссылки на полный текст

Издание

Журнал: Мехатроника, автоматизация, управление

Выпуск журнала: 9

Номера страниц: 45-47

ISSN журнала: 16846427

Место издания: Москва

Издатель: Общество с ограниченной ответственностью Издательство Новые технологии

Авторы

  • Саханский С.П. (Сибирский государственный аэрокосмический университет им. акад. М. Ф. Решетнева)

Вхождение в базы данных