Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2011
Ключевые слова: контроль полупроводникового материала, электрохимическая обработка полу- проводников, пористый кремний, пористые кремниевые пленки, микроэлектронный химический сен- сор
Аннотация: Рассмотрены вопросы микроскопического контроля структуры пористых кремниевых пленок, отде- ленных от исходных монокристаллических подложек. Показано влияние технологии отделения пленок от подложек на их микроструктуру, целостность и прочность. Приводятся сведения о перспективности использования пористых слоев при изготовлении кремнПоказать полностьюиевых микроэлектронных сенсоров
Журнал: Ползуновский вестник
Выпуск журнала: № 3-1
Номера страниц: 140-143
ISSN журнала: 20728921
Место издания: Барнаул
Издатель: Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования Алтайский государственный технический университет им. И.И. Ползунова