Тип публикации: патент
Год издания: 2019
Аннотация: Программа позволяет рассчитать распределение концентрации газовой смеси при синтезе нанопорошков в плазме дугового разряда низкого давления. Реализованы: способ расчета с различными исходными данными; прогнозирование значений температуры, давления, распределения газовой смеси при напуске различных газов в виде двумерных и одномерныПоказать полностьюх графиков; учет геометрии вакуумной камеры, различных газов, материалов подложки, давления в вакуумной камере, особенности технологии синтеза нанодисперсных частиц. Программа может быть использована организациями и специалистами в области вакуумно-плазменных технологий.