Перевод названия: METHOD OF APPLYING PROTECTIVE COATING ONTO QUARTZ CRUCIBLE INNER SURFACE
Тип публикации: патент
Год издания: 2017
Аннотация: p num="25"Изобретение относится к металлургии полупроводниковых материалов и может быть использовано, например, при получении особо чистого германия методом зонной плавки. При нанесении защитного покрытия на внутреннюю поверхность кварцевого тигля в качестве покрытия используют GeO2, образующийся путем пропускания через закрытый хоПоказать полностьюлодный тигель газообразного GeO, нагретого до 850-1000°С, после чего тигель открывают и нагревают в атмосфере воздуха до 850-1000°С, затем тигель выдерживают при тех же температурах в атмосфере воздуха до получения плотного покрытия. Изобретение позволяет получать однородное покрытие диоксида германия на внутренней поверхности кварцевых тиглей толщиной до 100-150 мкм простым и технологичным способом, не требующим значительных затрат энергии. 1 ил., 1 пр./p p num="26"FIELD: metallurgy./p p num="27"SUBSTANCE: by applying a protective coating on the inner surface of the quartz crucible, GeO2 is used formed by passing through a closed cold crucible of gaseous GeO, heated to 850-1,000°C, then the crucible is opened and heated under air to 850-1,000°C, then the crucible is held at the same temperature in an air atmosphere to obtain a dense coating./p p num="28"EFFECT: invention allows to obtain a uniform coating of germanium dioxide in the inner surface of quartz crucible with thickness to 100-150 microns using a technologically simple method not requiring significant energy expenditure./p p num="29"1 dwg, 1 ex/p