ЯЧЕЙКА ДЛЯ ИЗМЕРЕНИЯ ДИЭЛЕКТРИЧЕСКИХ ПАРАМЕТРОВ ТОНКИХ ПЛЕНОК СЛОЖНЫХ ОКСИДОВ

Описание

Перевод названия: CELL FOR MEASUREMENT OF DIELECTRIC PARAMETERS OF THIN FILMS OF COMPLEX OXIDES

Тип публикации: патент

Год издания: 2006

Аннотация: p num="26"Изобретение относится к области измерения диэлектрических параметров тонких пленок сложных оксидов, используемых в производстве литий-ионных аккумуляторов. Технический результат изобретения: повышение точности измерения, возможность многократного использования ячеек. Сущность: на подложку из ситала или поликора через фотоПоказать полностьюшаблон способом вакуумного напыления наносят пленочный рисунок электродов из никеля, меди или алюминия в виде гребенчатых электродов. На поверхность контуров наносят пленку сложного оксида. Электроды выполняют из металла, нанесенного на подложку в виде гребенчатых контуров, направленных гребешками навстречу друг другу, вложенных один в другой и покрытых тонкой пленкой толщиной 0,3-0,9 мкм. 2 ил., 3 табл.img src="/get_item_image.asp?id=37978411&img=00000001.TIF" class="img_big"/p

Ссылки на полный текст

Авторы

Вхождение в базы данных