Перевод названия: INTEGRATED MICROMECHANICAL GYROSCOPE
Тип публикации: патент
Год издания: 2010
Аннотация: p num="23"Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к приборам для измерения величины угловой скорости. Гироскоп содержит подложку и инерционную массу, расположенные с зазором относительно друг друга, два гребенчатых электрода электростатических приводов, а также три пары электродов, образующих туннельные Показать полностьюконтакты, используемые в качестве преобразователей перемещений, при этом один электрод каждой пары расположен на инерционной массе, а другой - на подложке, и четыре вспомогательных электрода, расположенных на подложке с возможностью электростатического взаимодействия с инерционной массой. Изобретение позволяет измерять величины угловой скорости вокруг оси Y, расположенной в плоскости подложки, и вокруг оси Z, направленной перпендикулярно плоскости подложки интегрального микромеханического гироскопа, а также повысить точность измерения угловой скорости. 3 ил.img file="00000001.TIF" he="99" wi="144" img-format="tif" img-content="drawing" //p p num="24"FIELD: physics./p p num="25"SUBSTANCE: gyroscope has a substrate and an inertial mass lying with clearance from each other, two interdigitated-finger electrodes of electrostatic actuators, as well as three pairs of electrodes which form tunneling contacts which are used as displacement transducers. One electrode of each pair is on the inertial mass and the other is on the substrate and four auxiliary electrodes on the substrate with possibility of electrostatic interaction with the inertial mass./p p num="26"EFFECT: invention enables measurement of angular speed about an axis Y lying in the plane of the substrate, and about an axis Z which is perpendicular to the plane of the substrate of the integrated micromechanical gyroscope, and increases accuracy of measuring angular speed./p p num="27"3 dwg /p