Перевод названия: INTEGRATED MICROMECHANICAL FIELD EMISSION ACCELERATOR
Тип публикации: патент
Год издания: 2010
Аннотация: p num="23"Изобретение относится к области микросистемной техники, в частности к микромеханическим акселерометрам. Акселерометр содержит крестообразный подвес, центральная часть которого закреплена относительно якорной области, и опорную рамку, соединенную с крестообразным подвесом и закрепленную относительно инерционной массы. ВспоПоказать полностьюмогательные подвижные электроды закреплены по углам опорной рамки, подложка и инерционная масса выполнены из диэлектрического материала, подвижные и неподвижные электроды и вспомогательные неподвижные электроды выполнены из металла, а якорная область, крестообразный подвес, опорная рамка и вспомогательные подвижные электроды выполнены из полупроводникового материала единым элементом. Изобретение позволяет расширить диапазон измеряемых ускорений, повысить точность измерения ускорения и улучшить эксплуатационные характеристики конструкции. 4 ил.img file="00000001.TIF" he="86" wi="116" img-format="tif" img-content="drawing" //p p num="24"FIELD: physics./p p num="25"SUBSTANCE: accelerometre has an x-shaped suspension whose central part is attached relative an anchor region, and a support frame joined to the x-shaped suspension and attached relative an inertial mass. Auxiliary movable electrodes are mounted at the corners of the support frame. The substrate and the inertial mass are made from dielectric material. Movable and fixed electrodes and auxiliary fixed electrodes are made from metal. The anchor region of the x-shaped suspension, support frame and auxiliary movable electrodes are made from semiconductor material into a single element./p p num="26"EFFECT: wider range of accelerations measured, increased accuracy of measuring acceleration and improved operational characteristics of the design./p p num="27"4 dwg /p