УСТРОЙСТВО ДЛЯ СОЗДАНИЯ УПРУГИХ НАПРЯЖЕНИЙ В ТОНКИХ ПЛЕНКАХ

Описание

Год издания: 2016

Аннотация:

Устройство для создания упругих напряжений в тонких пленках предназначено для создания заданного распределения механических напряжений в плоскости пленок, осажденных или выращенных на подложках. Устройство содержит подложку (1) с двумя противоположными торцами в виде клиньев. На основании (2) устройства неподвижно закреплены станина (3) и один край консоли (4), расположенной между ними. Станина имеет клиновидный паз для фиксации одного края подложки и создает неподвижную поперечную опору под центром подложки. Консоль из упругого материала имеет выступ (5) с клиновидным пазом для фиксации противоположного края подложки. На свободном конце консоли выполнено отверстие под регулировочный винт (9). На основании закреплена пластина (7) с проградуированной шкалой (8) для контроля степени изгиба подложки. Устройство обеспечивает в заданном диапазоне контролируемый изгиб подложки с пленкой, высокую степень точности создаваемых в пленке деформаций, снижает технические требования к системе регулировки устройства, обеспечивает свободный доступ к поверхности пленки для проведения измерений физических параметров пленки. 1 н. п. ф. и 2 ил.

Ссылки на полный текст

Вхождение в базы данных