СПОСОБ ПОЛУЧЕНИЯ ПРОЗРАЧНОЙ ПРОВОДЯЩЕЙ ПЛЕНКИ InSnO

Описание

Перевод названия: METHOD TO PRODUCE TRANSPARENT CONDUCTING FILM InSnO

Тип публикации: патент

Год издания: 2013

Аннотация: p num="45"Изобретение относится к области тонкопленочных технологий, в частности технологии получения тонких пленок оксида индия-олова (ITO), и может быть использовано при производстве электролюминисцентных дисплеев и мониторов с сенсорным экраном. Осуществляют экстрагирование Sn и In из водных растворов их солей карбоновыми кислотПоказать полностьюами с получением экстрактов индия и олова. Экстракты In и Sn смешивают в соотношении 9:1, смесь экстрактов наносят на подложку, которую центрифугируют для равномерного растекания экстрактов, подсушивают при 100-130°C в течение 1 минуты и далее подвергают пиролизу на воздухе при 400-500°C до разложения органических фаз и отжигают. Нанесение смеси экстрактов In и Sn, центрифугирование, подсушивание и пиролиз циклируют от 5 до 30 раз в зависимости от требуемой толщины получаемой пленки. Отжиг проводят на воздухе при температуре 450°C в течение 1 часа, или в вакууме при 300°C в течение 3 мин. Обеспечивается повышение чистоты и однородности ITO пленок за счет использования растворов экстрактов индия и олова, а также сохранения концентрации раствора при хранении и улучшения смачиваемости подложки при минимальных затратах. 2 з.п. ф-лы, 5 ил., 1 табл., 1 пр.img src="/get_item_image.asp?id=37515428&img=00000001.TIF" class="img_big"/p

Ссылки на полный текст

Вхождение в базы данных