Перевод названия: METHOD OF PRODUCING AMORPHOUS MAGNETIC Co-P FILMS
Тип публикации: патент
Год издания: 2012
Аннотация: p num="17"Изобретение относится к области химического осаждения аморфных магнитных пленок, например, на такие материалы, как полированное стекло, поликор, ситалл, кварц, и может быть использовано в вычислительной технике, в головках записи и считывания информации, в датчиках магнитных полей, управляемых СВЧ-устройствах: фильтрах, аПоказать полностьюмплитудных фазовых модуляторах и т.д. Способ включает очистку подложки, двойную сенсибилизацию в растворе хлористого олова с промежуточной обработкой в растворе перекиси водорода, активацию в растворе хлористого палладия, термообработку при температуре 150-450°С в течение 30-40 мин, осаждение аморфной магнитной пленки Со-Р на немагнитный аморфный слой Ni-P толщиной 20-30 нм при наложении в плоскости пленки однородного магнитного поля, при этом на аморфную магнитную пленку Со-Р дополнительно осаждают немагнитный аморфный слой Ni-P толщиной от 2,0 до 6,0 нм с последующим осаждением идентичной Со-Р пленки. Изобретение позволяет повысить качество аморфных пленок за счет уменьшения коэрцитивной силы Hc. 2 ил., 1 табл. /p p num="18"FIELD: chemistry./p p num="19"SUBSTANCE: method involves cleaning a substrate, double sensitisation in tin chloride solution with intermediate treatment in hydrogen peroxide solution, activation in palladium chloride solution, thermal treatment at temperature 150-450°C for 30-40 min, deposition of the amorphous magnetic Co-P film on a nonmagnetic amorphous Ni-P layer with thickness of 20-30 nm while applying a homogeneous magnetic field in the plane of the film, wherein a nonmagnetic amorphous Ni-P layer with thickness of 2.0-6.0 nm is further deposited on the amorphous magnetic Co-P film with subsequent deposition of an identical Co-P film./p p num="20"EFFECT: invention improves quality of amorphous films owing to reduction of coercitive force Hc./p p num="21"2 dwg, 1 tbl /p