Тип публикации: доклад, тезисы доклада, статья из сборника материалов конференций
Конференция: Актуальные проблемы микро- и наноэлектроники; Уфа; Уфа
Год издания: 2018
Ссылки на полный текстЖурнал: Актуальные проблемы микро- и наноэлектроники
Номера страниц: 192-192
Издатель: Башкирский государственный университет