Тип публикации: статья из журнала
Год издания: 2003
Идентификатор DOI: 10.1016/S0167-9317(03)00300-9
Ссылки на полный текстЖурнал: Microelectronic Engineering
Выпуск журнала: Т. 69, № 2-4
Номера страниц: 216-220
ISSN журнала: 01679317
Издатель: Elsevier Science Publishing Company, Inc.